반응형 CVD1 원익IPS, 전공정 핵심 '메탈 CVD장비' 국산화 국내 2위 반도체 장비업체인 원익IPS가 전공정 핵심 장비를 국산화했다. 일본의 도쿄일렉트론(TEL)이 과점하고 있던 '금속(메탈) CVD'장비를 자력으로 개발했다. 향후 이 장비 발전 가능성이 상당히 커질 것으로 보여 업계 관심이 쏠리고 있다. 28일 업계에 따르면 원익IPS는 신규 메탈 CVD장비 '노아(NOA)'를 첫 양산해 SK하이닉스 청주 공장 M15에 납품했다. M15는 128단 낸드플래시 등을 생산하는 SK하이닉스의 핵심 낸드 생산 기지다. 원익IPS가 국산화한 메탈 CVD 장비는 반도체 8대 공정 중 하나인 금속배선 공정에서 쓰인다. 금속 배선 공정은 반도체 회로에 전기 신호가 잘 전달되도록 금속선을 연결하는 전공정이다. 금속선은 전기저항이 낮고 부착성이 좋은 구리(Cu), 텅스텐(W), .. 2020. 10. 29. 이전 1 다음 반응형